南大光電具有自主知識產(chǎn)權(quán)的TMA自制產(chǎn)品正式下線并圓滿完成首銷，一舉打破了我國在TMA合成方面的長期空白。

南大微電子一期安裝工程主體完工。

南大光電《電子半導(dǎo)體材料（MO源和離子注入氣體）》榮膺2021年 工信部“第六批制造業(yè)單項冠軍”。

南大光電“先進(jìn)光刻膠產(chǎn)品開發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項目通過驗收。

南大光電與烏蘭察布市合作建設(shè)的內(nèi)蒙古烏蘭察布氟硅電子新材料基地暨南大微電子材料項目開工。

烏蘭察布南大微電子材料有限公司成立。

· 南大光電成為全國首個電子材料民營企業(yè)購置193nm浸沒式光刻機(jī)，光刻膠產(chǎn)業(yè)邁向新階段。

· 光刻膠第二條生產(chǎn)線建成。

光刻膠第一條生產(chǎn)線建成。

南大光電與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)就先進(jìn)光刻膠原材料及配套材料開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目再次簽訂合作協(xié)議。

投資并購山東飛源氣體有限公司，進(jìn)入大宗氟化類電子特氣領(lǐng)域。

南大光電半導(dǎo)體材料有限公司成立。

· 獲得國家“02-專項”ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目立項。

· 同期，年產(chǎn)170噸MO源和高K三甲基鋁項目落地全椒，籌備成立南大光電半導(dǎo)體材料有限公司。

與寧波經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)簽訂投資協(xié)議，注冊成立“寧波南大光電材料有限公司”，負(fù) 責(zé)“02-專項”ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目落地實施。

· 獲國家“02-專項”193nm 光刻膠及配套材料關(guān)鍵技術(shù)的開發(fā)項目立項。

· 建成8條ALD/CVD前驅(qū)體系列產(chǎn)品生產(chǎn)線，已有部分產(chǎn)品通過知名客戶驗證并具備批量供貨能力。

· 引進(jìn)高K三甲基鋁先進(jìn)生產(chǎn)線。

公司召開2016年度股東大會，選舉產(chǎn)生了公司第七屆董事會，正式進(jìn)入“二次創(chuàng)業(yè)”期。