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    “中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

    三甲硅烷基胺 （TSA）
    • 中文名：三甲硅烷基胺
    • 英文名：Trisilylamine
    • CAS號(hào)：13862-16-3
    • 用途：通過流動(dòng)化學(xué)氣相沉積（FCVD）形成氧化硅
    • 純度指標(biāo)：99.65%
    • 規(guī)格：公斤級(jí)
    二異丙氨基硅烷 （DIPAS）
    • 中文名： 二異丙氨基硅烷
    • 英文名：Diisopropylaminosilane
    • CAS號(hào)：908831-34-5
    • 用途：形成晶種
    • 純度指標(biāo)：8N
    • 規(guī)格：公斤級(jí)
    四氯化鈦 （Ticl?）
    • 中文名：四氯化鈦
    • 英文名：Titanium tetrachloride
    • CAS號(hào)：7550-45-0
    • 熔點(diǎn)：-25℃
    • 沸點(diǎn)：135 - 136 °C
    • 蒸氣壓：12.8 hPa 在 20 °C
    • 產(chǎn)品等級(jí)：6N
    • 規(guī)格：15kg
    四乙氧基硅烷 （TEOS）
    • 中文名：四乙氧基硅烷
    • 英文名：Tetraethoxysilane
    • CAS號(hào)：1978-10-4
    • 熔點(diǎn)：-82.49℃
    • 沸點(diǎn)：168°C
    • 蒸氣壓：10.0 hPa 在 20℃
    • 產(chǎn)品等級(jí)：9N
    • 規(guī)格：17.7kg、35kg、200kg
    雙（二乙氨基）硅烷 （BDEAS）
    • 中文名： 雙（二乙氨基）硅烷
    • 英文名：Bis(diethylamino)silane
    • CAS號(hào)：27804-64-4
    • 熔點(diǎn)：＜-10℃
    • 沸點(diǎn)：188℃
    • 產(chǎn)品等級(jí)：5N
    • 規(guī)格：10kg
    六氯乙硅烷（HCDS）
    • 中文名：六氯乙硅烷
    • 英文名：Hexachlorodisilane
    • CAS號(hào)：13465-77-5
    • 沸點(diǎn)：144 - 145.5℃
    • 產(chǎn)品等級(jí)：6N
    • 規(guī)格：13kg
    八甲基環(huán)四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名：八甲基環(huán)四硅氧烷
    • 英文名：Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS號(hào)：556-67-2
    • 熔點(diǎn)：17-19℃
    • 沸點(diǎn)：175-176℃
    • 蒸氣壓：1 mmHg (21.7℃)
    • 產(chǎn)品等級(jí)：7N5
    • 規(guī)格：10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 （4MS）
    • 中文名：四甲基硅烷
    • 英文名：Tetramethylsilane
    • CAS號(hào)：75-76-3
    • 熔點(diǎn)：-99℃
    • 沸點(diǎn)：26-28℃
    • 產(chǎn)品等級(jí)：7N5
    • 規(guī)格：10kg、20kg、110kg、125kg
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