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193nm ArF光刻膠

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量產(chǎn)籌備中敬請(qǐng)期待
· 193nm ArF光刻膠已通過存儲(chǔ)、邏輯兩家芯片制造企業(yè)驗(yàn)證，成為國內(nèi)首個(gè)通過驗(yàn)證的ArF光刻膠產(chǎn)品
· 2021年建黨100周年前夕，順利通過國家“02-專項(xiàng)”驗(yàn)收

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