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    “中國芯”關鍵材料國產化

    稀釋劑（Thinner）
    稀釋劑（Thinner）
    • 中文名：稀釋劑
    • 英文名：Thinner
    • CAS號：107-98-2 108-65-6
    • 熔點：<-10℃
    • 沸點：121℃~140℃
    • 蒸氣壓：10.9 mm Hg(25℃)
    • 產品等級：UP級、UP-S級
    • 規格：1加侖/200L/11m3槽車
    六甲基二硅氮烷（HMDS）
    六甲基二硅氮烷（HMDS）
    • 中文名：六甲基二硅氮烷
    • 英文名：Hexamethyldisilazane
    • CAS號：999-97-3
    • 熔點：-78℃
    • 沸點：125℃
    • 蒸氣壓：20 hPa (20℃)
    • 產品等級：UP-S級
    • 規格：1加侖/200L/11m3槽車
    193nm ArF光刻膠
    193nm ArF光刻膠
    • 量產籌備中 敬請期待
    • · 193nm ArF光刻膠已通過存儲、邏輯兩家芯片制造企業驗證，成為國內首個通過驗證的ArF光刻膠產品
    • · 2021年建黨100周年前夕，順利通過國家“02-專項”驗收
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